| 학회 | 한국공업화학회 |
| 학술대회 | 2011년 가을 (11/02 ~ 11/04, 경원대학교) |
| 권호 | 15권 2호 |
| 발표분야 | 고분자 |
| 제목 | 반응성 DC pulseMF마그네트론 스퍼터링을 이용한Flexible 기판의기체 차단막 특성 |
| 초록 | 최근에 flexible display에 대한 연구가 활발히 진행됨에 따라 플렉시블 디스플레이 구현을 위한 가장 적합한 소재로 플라스틱 기판이 주목을 받아오고 있다. 그러나 프라스틱 기판은 유기 기판에 비해매우 낮은 기체 차단 특성을 가지므로 산소, 수증기와 같은 기체가 플라스틱 기판을 통과하게 되면 OLED 디스플레이의 경우 유기층의 화학적 변화를 유발하여소자의 열화를 유발하게 된다.현재 TFT-LCD의 광학 필름 등으로 많이 사용되는 플라스틱 기판으로polyethylene terephthalate(PET)는 수분투과도가 기판의 요구 조건에 미치지 못하므로 우수한 기체 차단막 형성이 선행 되어야 한다. 본 연구에서는 반응성 DCpulse MF 마그네트론 스퍼터링을 이용하여 PET, PEN등 유연기판 위에 SiNx 유전체 film을 증착하였고 MOCON 테스트를 통한 수분 침투 방지막으로써의 가능성을조사 하였다. |
| 저자 | 김은혜, 오창석, 박이순 |
| 소속 | 경북대 |
| 키워드 | 플렉시블 디스플레이; OLED; 기체차단막 |
