| 학회 | 한국재료학회 |
| 학술대회 | 2021년 봄 (05/12 ~ 05/14, 광주 김대중컨벤션센터) |
| 권호 | 27권 1호 |
| 발표분야 | A. 전자/반도체 재료 분과 |
| 제목 | PI 기판 위 스트레처블 전자소자용 저저항 다층 배선구조에 대한 연구 |
| 초록 | 스트레처블 디스플레이(stretchable display)는 화면이 탄력적으로 늘어나는 특성을 이용하여 웨어러블 기기와 차량용 디스플레이, 스마트 섬유 등에 적용이 가능한 차세대 디스플레이 패널이다. 최근 신축성 소자가 대면적, 고해상도 됨에 따라 낮은 저항을 갖는 배선재료가 요구되고 있으며 폴리이미드(polyimide)는 기계적 강도, 내화학성, 내열성이 우수하여 신축성 소자의 기판으로 사용하기 적합하다. 본 연구에서는 구리 및 알루미늄 이중 배선구조를 활용하여 배선의 접착층(adhesive layer)으로 사용된 니켈 합금 및 타이타늄, 몰리브데늄 합금의 기계적 특성 및 다층막 형성에 필요한 에칭 특성에 대해 연구하였다. |
| 저자 | 김종석, 서종현, 배진원, 이진리, 이민준 |
| 소속 | 한국항공대 |
| 키워드 | 스트레처블 디스플레이; 니켈 합금; 저저항 배선; 에칭; 타이타늄 합금 |
