| 학회 | 한국공업화학회 |
| 학술대회 | 2011년 봄 (05/11 ~ 05/13, 제주국제컨벤션센터) |
| 권호 | 15권 1호 |
| 발표분야 | 녹색화학/에너지 기술 연구 동향 |
| 제목 | 태양 전지용 poly-Si생산을 위한 사염화 실란의 수소화 반응 연구 |
| 초록 | 급부상하는 태양광 산업의 시장 발전과 대체 에너지로서의 경쟁력 강화를 위해서는 태양광 발전시스템 구성에 필요한 재료나 장비의 원활한 공급이 필수적이며, 특히, 태양 전지용 poly-Si 제조에 사용되는 삼염화실란 또는 모노실란과 같은 silane 가스의 값싸고 안정적인 공급이 반드시 전제되어야 한다. 이에 본 연구에서는poly-Si CVD 과정에서 배출되는 사염화실란을 fumed silica 제조에 활용하지 않고 공정 내에서 재순환하여 고부가의 TCS로 전환하는 연구를 진행하였다. |
| 저자 | 최원춘 |
| 소속 | 한국화학(연) |
| 키워드 | 사염화실란; 삼염화실란; 폴리실리콘; 태양전지 |
