| 초록 |
건물의 에너지 손실은 벽체나 지붕, 그리고 창호 등을 통해서 발생한다. 이들 중 창호을 통한 열손실은 20~40% 정도로 보고되고 있다. 단열창호의 제조기술 중에서 Low-Emissivity (저방사) 박막코팅기술이 중요한데, 이는 나노 두께의 금속박막에 기초하고 있다. 전형적인 금속박막으로 Ag가 사용되고 있다. 그러나 Ag 단일 박막으로는 열적안정성, 투명성 및 내부식성이 열악한 문제를 갖고 있다. 이러한 해결책으로는 확산장벽 및 고굴절을 위한 산화물박막을 이용한 다층박막이 시도되고 있다. 본 연구에서Ag박막을 샌드위치 형상으로 질화물 사이에 증착시켜, Ag의 응집과 확산을 방지하고 내구성을 증가시켰다. 이 연구에서는 Ag(10nm)/glass와 TaN(10nm)/Ag(10nm)/TaN(10nm)/glass 을DC and RF magnetron sputtering 방법으로 박막을 증착하였고, 이를 Rapid Thermal Annealing법으로 열처리하였다. 미세구조는 FE-SEM(Field Emission Scanning Electron Microscope)과 AFM(Atomic Force Microscope)으로, 표면저항은 4 point probe로 분석하였다. 광투과율은 UV-Vis spectroscopy로 분석하였고, 그 구조 및 표면 형태, 전기 및 광학 속성 및 열 안정성을 체계적으로 조사하였다. Ag의 미세구조는 TaN을 Interlayer로 사용했을 때 Ag(10nm)/glass film보다 응집현상이 효과적으로 감소하였고, 면 저항 측정 결과, Tantalum nitride (TaN)는 효과적으로 확산방지 역할을 하였다. 가시광선 영역에서 투과율은 Ag(10nm)/glass는 ~56%, TaN(10nm)/Ag(10 nm)/TaN(10nm)/glass는 ~67%로 확인되었다. |
