| 학회 | 한국화학공학회 |
| 학술대회 | 1999년 봄 (04/23 ~ 04/24, 성균관대학교) |
| 권호 | 5권 1호, p.1649 |
| 발표분야 | 재료 |
| 제목 | Hydride VPE 법에 의한 GaN 박막성장 |
| 초록 | 본 연구에서는 GaN 기판 제작 기술 개발의 첫단계로서 기존의 hydride VPE(HVPE)법을 개선한 반응 system을 직접 설계, 제작하였으며, 이를 사용하여 사파이어 기판 위에 GaN 박막을 증착시켰고 증착된 GaN 박막의 특성을 분석하였다. |
| 저자 | 여석기, 박진호 |
| 소속 | 영남대 |
| 키워드 | Hydride VPE; GaN; Sapphire substrate; Raman spectrometer; XRD |
| 원문파일 | 초록 보기 |
