| 학회 | 한국화학공학회 |
| 학술대회 | 2000년 봄 (04/21 ~ 04/22, 한양대학교) |
| 권호 | 6권 1호, p.1961 |
| 발표분야 | 재료 |
| 제목 | Modified Hydride VPE 법에 의한 GaN 성장에 관한 연구 |
| 초록 | 본 연구에서는 기존의 HVPE법을 개선하여 GaN 기판 제조를 위해 직접 설계 제작한 반응 장치와 이를 이용한 결정 성장 방법과 10×10 ㎟인 사파이어 기판위에 성장된 GaN 박막의 특성과 후막 성장에 관하여 연구하였다. |
| 저자 | 최진식, 서정찬, 윤덕선, 여석기, 박진호 |
| 소속 | 영남대 |
| 키워드 | GaN; HVPE; XRD |
| 원문파일 | 초록 보기 |
