학회 | 한국공업화학회 |
학술대회 | 2015년 봄 (04/29 ~ 05/01, BEXCO (부산)) |
권호 | 19권 1호 |
발표분야 | 고분자_포스터 |
제목 | Solution processable fluorinated hybrid high-k nanoparticles for fabricating dielectric layer. |
초록 | 최근 전자소자는 대면적화, 유연화와 함께 비용절감을 위해 비교적 간단한 설비로 통상적인 조건에서 소자를 제작할 수 있는 용액공정에 대한 다양한 연구가 진행되고 있다. 전자소자 중 OTFT소자를 구성하는 절연층에 대한 용액공정 또한 다양하게 연구되고 있다. 절연층에 사용되는 다양한 무기산화물 중 BaTiO3의 표면에 Oleic acid와 같은 유기리간드를 도입하여 유기용제에 분산시켜 용액공정을 진행할 수 있으나, 유기용제로 인해 소자 상하부층의 물질들에 손상을 유발시켜 소자 성능의 저하를 일으킬 수 있다. 이를 해결하고자 상하부의 유기층과 화학적 상용성이 작은 불소계 용제를 사용한 고불소계 유전물질을 합성하였다. 합성한 Decanoic acid 리간드로 쌓인 BaTiO3의 표면에 고불소계 리간드로 리간드 치환을 통해 불소계 용제에 우수하게 분산시킬 수 있었으며, spin-coating을 이용하여 OTFT소자로 만들 수 있었다. |
저자 | 김영태, 손종찬, 이진균 |
소속 | 인하대 |
키워드 | OTFT; dielectric layer; barium titanate; fluorinated nanoparticle; solution process |