| 학회 | 한국재료학회 |
| 학술대회 | 2013년 가을 (11/06 ~ 11/08, 제주롯데호텔) |
| 권호 | 19권 2호 |
| 발표분야 | C. 에너지/환경 재료(Energy and Environmental Materials) |
| 제목 | 다공성 Honeycomb 탄화규소 필터의 탈지 및 소결 거동 |
| 초록 | 최근 IT 산업의 발달로 인하여 반도체 공정들이 점차 증가하고 있는 실정이다. 이에 따라 각 공정에서 발생하는 폐가스의 양 또한 급증하고 있는데, 이들은 보통 지구 온난화 지수가 높은 성분으로 구성되어있어 제거가 필히 요구되며 배출량의 규제도 점차 심화되고 있다. 하지만 기존의 Burn-wet/Burn-dry 방법의 폐 가스 처리 방식은 반도체공정 중 Etching 및 CVD 공정에서 주로 배출되는 함 불소 화합물인 PFCs 의 제거가 용이 하지 않으며, 처리 효율이 낮은 단점을 가지고 있다. 따라서 1400℃ 이상 고온에서 PFCs를 처리할 수 있는 다공성 Honeycomb 탄화규소 제조 기술을 개발 하여 처리효율 및 공정의 연속성을 보장하고, 심화되는 환경규제를 충족시키는 것이 필요하다. 본 연구에서는 압출 성형된 Honeycomb 구조의 Silicon Carbide 필터를 탈지 및 소결 온도를 변화하여 분위기 탈지 및 진공 소결하였다. 제조된 소결체는 저항률계를 이용하여 전기적 특성 (저항율, 비저항)을 평가하였고, FE-SEM으로 미세 조직을 관찰하였으며, XRD를 통하여 상 변화를 분석하여 탈지 및 소결 에 따른 거동을 고찰하였다. |
| 저자 | 서태원, 구본욱, 이시형, 이용호, 김병기, 공영민 |
| 소속 | 울산대 |
| 키워드 | 다공성; Honeycomb; SiC; Filter |
