| 학회 | 한국재료학회 |
| 학술대회 | 2014년 봄 (05/15 ~ 05/16, 창원컨벤션센터) |
| 권호 | 20권 1호 |
| 발표분야 | E. 구조 재료(Structural Materials) |
| 제목 | SiC-Si 복합체에서 탄화규소 조성에 따른 전기비저항 특성 |
| 초록 | 반도체 제조 공정에서 배출되는 유해 폐가스의 처리는 종종 내구성이 우수한 다공성 히터가 필요하다. 탄화규소는 (SiC) 높은 공유결합으로 높은 강도, 경도, 내고온성, 내방사성 및 우수한 열전도성으로 연마재, 볼 베어링, 엔진 부품 등에 널리 사용되고 있다. 또한 열팽창계수가 낮고, 고온에서도 변형이 거의 일어나지 않으며, 화학적 안정성과 장시간 고열발열 안정성과 더불어 전력소비량도 적다. 본 연구에서는 입자크기가 다른 SiC 분말과 실리콘 (Si) 분말을 볼밀 혼합 및 성형하여 진공 소결하였다. SiC-Si 조성에 따른 소결체의 밀도 및 전기비저항을 측정하여 히터소재로서의 특성을 평가하였다. |
| 저자 | 이수진, 이은경, 박소현, 구본욱, 이시형, 이선영, 이용호, 김병기, 공영민 |
| 소속 | 울산대 |
| 키워드 | SiC; sintering; density; resistivity |
