| 초록 |
최근에 여러 가지 방법을 이용하여 nanodot과 nanotip의 배열에 관한 연구가 진행되고 있다. 이러한 나노미터 크기의 구조물은 건식식각 방법을 이용하여 주로 형성된다. 그러나 건식식각을 위한 나노미터 크기의 식각마스크 제조는 현재 개발된 e-beam lithography, nanoimprint, 고분자 합성 등의 방법으로서 매우 복잡하고 고비용이 소요되며 밀도와 크기를 제어하기 어렵다. 이러한 문제점을 해결하기 위하여 알루미늄의 양극산화 공정을 통하여 형성되는 금속 산화물의 형성에 관한 연구가 보고되어졌다. 본 연구에서는 알루미나의 세공을 이용하여 나노미터 크기의 금속 산화물을 제조 하고자 하였다. 알루미늄 박막 아래에 Nb와 Ta 박막을 각각 준비하고, 이후 양극산화공정을 통하여 형성되는 NbOx nanopillar와 TaOx nanopillar를 전해질에 따라 다양한 크기와 밀도로 형성하고자 하였다. 전해질의 종류와 각각의 전해질에서 인가전압, 반응온도 등에 따른 NbOx nanopillar와 TaOx nanopillar의 모양과 크기, 그리고 밀도를 field emission scanning electron microscope를 이용하여 관찰하였다. |
