학회 한국화학공학회 학술대회 1995년 가을 권호 1권 2호, p.1345 발표분야 재료 제목 MOCVD 반응기의 샤워헤드의 구조가 박막증착속도의 균일도에 미치는 영향 초록 저자 정원영, 김도현 소속 키워드 E-Mail 원문파일 초록 보기 목록보기
