화학공학소재연구정보센터
학회 한국공업화학회
학술대회 2006년 가을 (11/10 ~ 11/11, 경희대학교(수원캠퍼스))
권호 10권 2호
발표분야 환경에너지
제목 Rectangular 형태의 균일계 three way microvalve에서의 유량 변화 측정
초록 최근 들어 Microsystem을 이용한 기술은 비용의 절감, 반응성의 증가, 에너지 소비의 감소, 시스템의 소형화 등의 장점으로 인하여 제약, 의료, 화학공학, 생물공학, IT 등을 비롯한 다양한 분야에서 응용되고 있다. 본 연구에서는 softlithographic method를 이용하여 microvalve의 사면이 PDMS로 구성된 균일계 three way microvalve를 제작하였다. 또한 전기삼투압을 이용하여 유체의 흐름을 유도하고, 외부전압의 변화에 따른 유체의 흐름변화를 측정하였다. 특히 microvalve를 구성하는 PDMS의 표면성질 변화가 채널 내에서 유체의 흐름에 미치는 영향을 조사하기 위하여, 진공플라즈마를 이용하여 PDMS 표면을 allyl alcohol로 코팅하여 서로 다른 접촉각을 갖도록 하였다. 전체적으로 microvalve를 구성하는 PDMS의 접촉각이 작을수록 유체의 유량이 빠른 것으로 나타났다.
저자 김기호, 이효송, 유재근, 이영우
소속 충남대
키워드 microvalve; PDMS; softlithography; vacuum plasma
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