화학공학소재연구정보센터
학회 한국화학공학회
학술대회 2003년 봄 (04/25 ~ 04/26, 순천대학교)
권호 9권 1호, p.30
발표분야 고분자
제목 분자 공극을 함유한 저유전성 bis(4-aminophenyl)-1-adamantyl phosphine oxide로 합성된 폴리이미드의 물성 및 특성 분석
초록 최근 폴리이미드의 좋은 기계적 물성과 낮은 유전상수 성질을 이용하여 반도체 층간 절연물질로 연구되고 있다. 미세상 분리된 폴리이미드의 열분해 방법을 이용한 저유전체 제조연구가 주류이었으나, 생성된 공극 크기가 커져서 기계적 강도가 떨어지는 단점이었다. 본 연구에서는 공극이 존재하는 바구니형 분자를 사용하여 유전상수를 2이하로 낮추고 기계적 강도를 유지할 수 있는 폴리이미드를 제조하는 것을 목적으로 하였다.
본 연구에서는 기계적 전기적 물성을 효과적으로 측정하기 위하여 유전상수는 LCR meter를 이용하여 frequency와 필름 두께에 대한 유전상수의 변화량을 측정하였으며, 주위 환경과 평형을 이루고 있는 시편의 수분 흡수성을 구하기 위해서 300℃까지의 온도의영향을 분석하였다. 또한 RF network analyzer를 사용해서 10GHz에 이르는 영역에 대해서도 분석하였다.
잔류응력과 열팽창계수를 측정하기 위해서 본 연구실에서 자체 제작한 벤딩빔 방식과 레이저 인터페로미터를 사용한 측정장치를 이용하였고 위에서 측정한 고분자 필름의 열팽창계수를 확인하기 위하여 thermomechanical analyzer(TMA)를 이용하여 구한 열팽창계수와 비교하여 정확성을 확인하고 응력거동의 근원을 파악하였다.
저자 유동근1, 윤태호2, 최정훈3, 김영준1, 김덕준1
소속 1성균관대, 2광주과학기술원 신소재공학과, 3한양대
키워드 저유전체; 폴리이미드
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