화학공학소재연구정보센터
학회 한국화학공학회
학술대회 2001년 가을 (10/19 ~ 10/20, 한밭대학교)
권호 7권 2호, p.4727
발표분야 재료
제목 액적화학증착법을 이용한 LiCoO2 박막의 제조 및 특성분석
초록 본 연구는 초소형 전자시스템에 대한 관심 및 수요 급증에 따른 초박막형 리튬이온2차전지 개발과 관련한 양극재료의 박막화 연구에 관한 것이다. 기존의 스퍼터링이나 레이져 용발법 같은 건식증착방식은 조성제어의 어려움, 까다로운 증착조건과 고가의 진공장비로 인하여 상업화에 문제가 많다. 이를 해결하기 위해 조성제어가 용이한 습식증착방식 중의 하나인 액적화학증착방식을 사용하여 LiCoO2 박막을 제조하였고, XRD와 Raman Spectroscopy를 통한 구조분석과 Cyclic Voltammetry와 충방전실험을 통한 전기적 거동 확인을 통해 매우 우수한 전기적 성능을 지닌 양극재료박막이 합성되어졌음을 확인하였다.
저자 김기웅, 한규승, 우성일
소속 한국과학기술원 화학공학과 초미세화학공정시스템연구센터
키워드 LiCoO2 thin film; Liquid Source Misted Chemical Deposition
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