화학공학소재연구정보센터
학회 한국공업화학회
학술대회 2013년 봄 (05/01 ~ 05/03, ICC JEJU)
권호 17권 1호
발표분야 포스터-나노
제목 Reverse Lithography를 이용한 기능성 Line pattern 제작
초록 최근에 chiral seperation, photonic crystals, 기타 분야에서의 나노 영역의 독특한 특성과 잠재적인 응용 가능성 때문에 주된 관심을 받아왔다. 여기에 line pattern을 제작하기 위하여 electron-beam lithography, self assembly, soft lithography, 와 같은 많은 방법들이 알려져 왔다. 그중 soft lithography에서는 원하는 pattern의 구현성의 문제점이 부각되고 있다. 본 연구에서는 기존에 있던 soft lithography를 응용하여 기존의 pattern 구현성의 한계를 극복하는 방법을 연구하였다. 본 연구방법은 line pattern의 구현성에 보다 큰 기여를 할 수 있을 것으로 기대된다. 실험은 먼저 1cm2으로 이루어져 있는 mica 표면위에 line mask pattern1μm을 line pattern을 mica 표면에 완전 밀착시키기 위하여 50g 무게추의 중량의 무게를 가한다음 밀폐 시킨다. 그 뒤 mica에 vapour condition인 SAM를 이용하기 위하여 thiophenol를 mica와 떨어진 위치에 200μl 떨어뜨렸다. 용액이 떨어진 부분을 국소적으로 polymer의 경화온도보다 낮은 온도로 유지 시킨 뒤 thiophenol 증기가 substrate 로 흘러가도록 대류 조건을 가하였다. 약 30min 간 반응시킨 뒤 mask pattern을 제거하고 anhydrous ethanol 로 lincing한 뒤 표면을 AFM 으로 측정하였다. 그결과 1μm 의 mask pattern 을 사용한 경우 균일한 line pattern 을 얻을 수 있었다.
저자 김용우, 이운학, 장상목, 송주연, 김종민
소속 동아대
키워드 lithography; line pattern; self assembly
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