| 초록 |
실리콘 웨이퍼 태양전지의 표면 텍스쳐링은 표면에의 빛이 반사되는 기회를 증가시킴으로써 반사되는 빛의 반사율을 감소시키는데 있다. 다결정 실리콘 웨이퍼는 HF, HNO3등을 사용한 식각을 해야 한다. 이는 환경적으로나 인체에 유해하기에 현대의 방식과는 맞지 않아 다른 식각방법을 추구하고 있다. 레이저 텍스쳐링이 그 중 하나인데, 레이저 텍스쳐링은 웨이퍼에 바로 열에너지를 가하는 방법이라 웨이퍼 제작할 때의 결함인 saw damage의 두께를 측정하여 제거하는 실험을 하였다. 레이저 텍스쳐링한 후 SEM과 EDX로 확인해보니 레이저로 텍스쳐링 될 때 순간적인 열에너지가 가해져 웨이퍼에 홀이 생기지만, 그 주변이 레이저 열로 인해 재연성 되어 SiC나 SiO와 같은 레이저 슬러지가 생겨 효율이 5%가량밖에 나오지 않았다. 그리하여 효율을 높이기 위하여 이것을 제거해주는 실험을 하였다. Alkali 용액을 사용하여 레이저 슬러지를 제거한 후 SEM, EDX, 반사율과 효율을 측정해보니, 레이저 슬러지가 제거되는 것을 확인해볼 수 있었고, 알칼리 용액으로 제거를 하니 다른 부분도 더 식각이 되어 효율은 12%가량을 얻을 수 있었다. |
