| 학회 |
한국재료학회 |
| 학술대회 |
2010년 봄 (05/13 ~ 05/14, 삼척 팰리스 호텔) |
| 권호 |
16권 1호 |
| 발표분야 |
G. Display (LCD, PDP, OLED) Materials(디스플레이 재료) |
| 제목 |
유리기판위에 PLD로 증착한 IZO박막의 indium 농도에 따른 구조적, 광학적 특성 연구 |
| 초록 |
본 연구는 상온에서 PLD(Pulsed Laser Deposition) 방법을 통하여 유리 기판 위에 IZO (Indium Zinc Oxide) 박막을 증착 하였다. Indium 의 첨가된 양에 따라 증착 된 IZO (Indium Zinc Oxide) 박막의 구조적, 광학적 특성을 연구하였다. XRD(X-ray Diffraction) 분석을 통하여 박막의 결정성을 확인하였다. 소량의 Indium 첨가 시 (002)면이 우선배향 증착 되었고, 1 at. % 이상의 농도 에서 (100), (101) 그리고 (110)면 회절 피크가 관찰되었다. 20 at. % 이상에서는 비정질 박막 특성을 보였다. AFM(Atomic Force Microscope) 측정을 통하여 박막의 표면상태 및 거칠기 등 구조적 특성을 확인 하였다. 광학적 특성으로는 UV-visible spectrophotometer를 이용하여 박막의 광 투과율을 측정하였고, 투과 스펙트럼을 이용하여 Indium의 농도 변화에 따른 박막의 밴드갭 에너지 변화 등을 확인하였다. |
| 저자 |
이다정1, 장보라1, 김창회1, 김홍승1, 장낙원1, 배기열2, 이원재2
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| 소속 |
1한국해양대, 2동의대 |
| 키워드 |
PLD; 유리기판; ZnO; Indium 도핑농도; 광밴드갭
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