| 학회 |
한국재료학회 |
| 학술대회 |
2021년 봄 (05/12 ~ 05/14, 광주 김대중컨벤션센터) |
| 권호 |
27권 1호 |
| 발표분야 |
A. 전자/반도체 재료 분과 |
| 제목 |
금속 할라이드 소재를 활용한 용액공정 기반 P형 반도체 합성 및 TFT 응용 |
| 초록 |
무기계 박막 박막트랜지스터 (TFTs)는 금속 산화물 및 화합물을 반도체 소재로 사용한 스위칭 소자로 기존 실리콘 소자 대비 우수한 전하 이동도, 높은 광투과도, 낮은 제조비용 등의 장점으로 인해 디스플레이 및 전자회로 분야에 활발한 연구가 진행중에 있다. 하지만 현재까지 보고되고 있는 무기계 TFTs는 주로 산화물 기반 n형 반도체를 주로 사용하고 있으며 반면 p형 반도체를 사용한 p채널 TFT의 경우 낮은 전하이동도와 불안정성으로 인해 성능이 부족한 실정이다. 본 연구에서는 이와 같은 문제점을 해결하기 위해 기존의 산화물 소재에서 탈피하여 np (n＞5) 오비탈을 포함하는 새로운 금속 할라이드 반도체 소재를 합성하고 이를 p채널 TFT에 적용하여 성능을 평가하였다. 소자의 성능을 극대화 하기 위해 전해질 게이팅 기술을 적용하였으며 이렇게 제작된 소자는 평균 1V 미만의 낮은 구동전압과 >50 cm2/Vs의 높은 TFT이동도를 나타내었다. 제작된 소자의 전자소자 응용가능성을 검증하기 위해 complementary inverter를 제작하여 성능을 평가한 결과 우수한 스위칭 특성과 gain 값을 얻을 수 있었다. |
| 저자 |
홍기현 |
| 소속 |
충남대 |
| 키워드 |
<P>전이금속 할라이드; P형 반도체; 고이동도 TFT; 유연 전자소자</P>
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