화학공학소재연구정보센터
학회 한국공업화학회
학술대회 2010년 봄 (05/13 ~ 05/14, BEXCO(부산))
권호 14권 1호
발표분야 나노
제목 나노촉매의 접촉인쇄를 통한 크기가 제어된 반도체 나노선연구
초록 본 연구에서는 나노촉매의 접촉인쇄를 통한 직경이 제어된 반도체 나노선 제조가 구현되었다. 양극 산화 알루미나 템플레이트에 수직 배향된탄소나노튜브를 나노스탬프로 활용하여, 그 위 물리적 방법을 이용하여 금속 촉매층을 형성하고, 이를 접촉인쇄 방법으로 기판 위에 균일한 촉매 입자층을 형성한다. 이때 형성된 촉매 입자의 크기는 나노스탬프의 크기에 비례하기 때문에, 스탬프의 크기조절에 의해서 촉매 입자의 크기의 조절을 할 수 있다. 따라서 열적 화학 기상 증착법을 이용하여, 크기가 균일하게 제어된 촉매 입자 위에 직경이 제어된 일차원 나노구조를 성장시킨다. 이 연구는 2010년도 정부 (교육과학기술부)의 재원으로 한국연구재단의 지원을 받아 수행됨(No. R15-2008-006-03002-0andNo.20090058918).
저자 이상호1, 조건호2, 윤승하2, 조병기2, 이탁희2, 김원배1
소속 1광주과학기술원 (GIST) / 분자레벨 집적화 시스템 (PIMS), 2광주과학기술원 (GIST)
키워드 크기가 제어된 나노 스탬프; 접촉인쇄; 크기가 제어된 반도체 나노선
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