| 초록 |
실온에서 유리기판 위에 RF 마그네트론 스퍼트링으로 증착한 ZnS 박막을 60분 동안 각각 100, 150, 250 and 350 °C에서 열처리 하였다. 열처리된 박막의 구조 및 광학 특성에 미치는 열처리 온도 효과를 X-ray diffraction (XRD), field emission scanning electron microscopy (FESEM) 및 UV-visible transmission spectra로 분석하였다. XRD 분석에 의해 2θ = 28.91°에서 (111) 회절면에 의한 단일 피크가 관찰되는데, 열처리 온도가 증가할수록 피크 강도는 증가한다. FESEM 이미지에서 박막의 표면은 밀도가 높고 둥근 형태이다. 100에서 350 °C까지 열처리 온도가 증가할수록 결정립의 크기는 22.6에서 48.7 nm로 증가한다. 박막의 광학 밴드갭은 열처리 온도가 증가할수록 3.27에서 3.51 eV로 높은 에너지 쪽으로 이동한다. ZnS 박막의 결정성, 결정립 크기, 표면 형상, 투과도 및 밴드갭은 열처리 온도에 의해 크게 영향을 받음을 알 수 있다. |
