| 초록 |
본 연구에서는 silane cross-linker의 UV에 의한 가교를 이용하여 단일벽 탄소나노튜브 필름의 패터닝을 유도하였다. 먼저 base layer로서 PS(polystyrene)을 THF(tetrahydrofuran)에 녹여 crosslinker인 1, 6-bis(trichlorosilyl)hexane와 각각 5:1, 10:1, 20:1의 비율로 섞어 유리기판에 스핀코팅 하였다. 그 위에 미리 분산 시켜 놓은 SWCNT용액을 스프레이 코팅하여 film을 만들었다. 이 기판 위에 마스크를 올리고 각각 1분, 3분, 5분, 10분 동안 UV를 노광하여 원하는 부분을 가교 시켰고, UV에 노출 되지 않은 부분은 아세톤으로 etching하여 간단하고 짧은 공정시간에 탄소나노튜브 필름을 패터닝 하였다. Cross-linker의 농도와 UV 노출시간에 따라 패터닝 정도가 상이 했으며, 그에 따른 표면 및 edge 부분을 OM, SEM으로 확인하였다. 그 결과 PS(polystyrene)와 1, 6-bis(trichlorosilyl)hexane을 10:1로 섞어 3분 동안 UV에 노출 시켰을 경우 가장 패터닝이 잘 되었고 SWCNT도 잘 분산 되어 있음을 확인하였다. |
