| 학회 | 한국화학공학회 |
| 학술대회 | 2010년 가을 (10/21 ~ 10/22, 대전컨벤션센터) |
| 권호 | 16권 2호, p.2009 |
| 발표분야 | 재료 |
| 제목 | 용액상 증착법을 이용한 반도체 박막 제조 |
| 초록 | 현재, CIGS 박막 태양전지 생산은 진공 공정을 기반으로 하여 만들어 지고 있다. 이것은 비용 면에서 높은 초기 투자비용을 요구하고 있기 때문에 비용이 적게 들고, 제조 비용을 낮추기 위한 현실적인 이점을 가진 반도체박막을 만들기 위해 다양한 생산 기법들이 개발되어 지고 있다. 이러한 저비용 기법의 일반적인 특징들은 단순하고, 비공정 증착 기법을 기반으로 하고 있다. 본 연구에서는 이와 같은 비진공 증착 방법으로 각각의 Cu, In, Ga, Se 전구체 혼합물을 스핀코터를 이용하여 MO/glass 기판 위에 코팅하였고, 높은 온도범위에서 건조시켰다. 이렇게 형성된 박막을 rapid thermal processing법과 일반적인 가열로를 사용하여 질소분위기에서 annealing 과정을 거쳐서 CIGS 박막을 만들었다. 형성된 박막의 특성은 SEM 및 XRD, EDX 분석을 통하여 형성 된 박막의 구조적인 형태를 알아보았다. |
| 저자 | 황정연1, 범희태2, 박성렬2, 박종호2, 김종남2, 구상만1, 고창현2 |
| 소속 | 1한양대, 2한국에너지기술(연) |
| 키워드 | CIGS; non-vacuum; solar cells; spin coating; thin film |
| 원문파일 | 초록 보기 |
