한국화학공학회 2001년 가을학술대회 : 액적화학증착법을 이용한 LiCoO2 박막의 제조 및 특성분석

김기웅, 한규승, 우성일 (한국과학기술원 화학공학과 초미세화학공정시스템연구센터)