검색결과 : 1건
| No. | Article |
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ECR plasma 식각장치에서 CF4에 의한 Si의 식각반응에 관한 연구 윤민희, 김종배, 남기석, 이상목, 박원일, 이기방 HWAHAK KONGHAK, 31(3), 255, 1993 |
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ECR plasma 식각장치에서 CF4에 의한 Si의 식각반응에 관한 연구 윤민희, 김종배, 남기석, 이상목, 박원일, 이기방 HWAHAK KONGHAK, 31(3), 255, 1993 |