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포토마스크 펠리클 제조를 위한 Aluminum Frame 표면 세정공정 연구 김현태, 김향란, 김민수, 이준, 장성해, 최인찬, 박진구 Korean Journal of Materials Research, 25(9), 462, 2015 |
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포토마스크 펠리클 제조를 위한 Aluminum Frame 표면 세정공정 연구 김현태, 김향란, 김민수, 이준, 장성해, 최인찬, 박진구 Korean Journal of Materials Research, 25(9), 462, 2015 |