검색결과 : 1건
| No. | Article |
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반응성 CVD를 이용한 다결정 실리콘 기판에서의 CoSi 2 layer의 성장거동과 열적 안정성에 관한 연구 김선일, 이희승, 박종호, 안병태 Korean Journal of Materials Research, 13(1), 1, 2003 |
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반응성 CVD를 이용한 다결정 실리콘 기판에서의 CoSi 2 layer의 성장거동과 열적 안정성에 관한 연구 김선일, 이희승, 박종호, 안병태 Korean Journal of Materials Research, 13(1), 1, 2003 |