검색결과 : 1건
| No. | Article |
|---|---|
| 1 |
Cu ECMP 공정에서 전해액이 연마거동에 미치는 영향 권태영, 김인권, 김태곤, 조병권, 박진구 Korean Journal of Materials Research, 18(6), 334, 2008 |
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Cu ECMP 공정에서 전해액이 연마거동에 미치는 영향 권태영, 김인권, 김태곤, 조병권, 박진구 Korean Journal of Materials Research, 18(6), 334, 2008 |