검색결과 : 5건
| No. | Article |
|---|---|
| 1 |
아민과 카르복실산이 함유된 수계용액의 구리 배선 공정의 세정특성 고천광, 이원규 Korean Chemical Engineering Research, 59(4), 632, 2021 |
| 2 |
Polished Wafer와 Epi-Layer Wafer의 표면 처리에 따른 표면 화학적/물리적 특성 김진서, 서형탁 Korean Journal of Materials Research, 24(12), 682, 2014 |
| 3 |
Investigation of cleaning solution composed of citric acid and 5-aminotetrazole Kwon OJ, Bae JH, Cho BK, Kim YJ, Kim JJ Korean Journal of Chemical Engineering, 28(7), 1619, 2011 |
| 4 |
세정액에 따른 실리콘 웨이퍼의 Cu 및 Fe 불순물 제거 김인정, 배소익 Korean Journal of Materials Research, 16(2), 80, 2006 |
| 5 |
한외여과막시스템을 이용한 금속가공폐수의 실험실적 처리 및 현장 적용 연구 배재흠, 황인국, 전성덕 Korean Chemical Engineering Research, 43(4), 487, 2005 |