| 학회 | 한국재료학회 |
| 학술대회 | 2007년 봄 (05/10 ~ 05/11, 무주리조트) |
| 권호 | 13권 1호 |
| 발표분야 | 전자재료 |
| 제목 | Magnetic Properties of The Co-Pt Thin Film on The Ru(0002)/FCC(111) Seed Layers |
| 초록 | 수직 자기 기록 매체는 더 이상 미래의 정보 기록 매체가 아닌 현재의 기록 매체가 되어가고 있다. 기록되어지는 정보의 양은 증가하고 기록 매체의 크기는 기존의 크기를 유지하거나 작아지고 있다. 즉, 더 높은 기록 밀도가 요구되어 지고 있다. Co-Pt 규칙상은 큰 수직자기 이방성으로 수직자기 기록매체로의 응용분야에서 큰 관심을 불러일으키고 있다. 이 규칙상은 MBE(molecular beam epitaxy) system에 의해서 성장 가능하나, 이로 인해 생산성이 낮아지고 제조단가가 높아지게 된다. 따라서 Co-Pt 규칙상을 스퍼터링으로 성장시키려는 많은 시도들이 있었다. 이전의 연구에서 FCC 결정구조를 갖는 NiFeMo Seed layer가 Ru의 규칙도를 향상시키고, 이로인해 Co-Pt 박막의 집합조직이 향상되는 것을 확인하였다. NiFeMo는 Seed layer의 역할 뿐만 아니라 연자성체로써 수직자기 기록매체에서 필수적인 soft underlayer로 사용되었다. 본 연구에서는 FCC(111) 결정구조를 갖는 Cu, Ag, NiFe를 Seed layer로 사용하였을 때, 각각의 Seed layer에 따른 Co-Pt 박막의 자기적 특성 비교를 초점으로 두었다. Co-Pt 박막은 Co target 위에 Pt chip의 개수로 조성을 확보하였으며 마그네트론 스퍼터를 이용하여 박막을 증착하였다. 진공도는 5×10-8 Torr까지 배기 후 증착을 시작하였으며 박막의 구조는 Si Sub.(100)/Ta (5nm)/ FCC seed layer/ Ru (60nm)/ Co-Pt (40nm)/ Ta (5nm) 이다. 자기적 특성은 VSM(vibrating sample magnetometer) 및 magneto-torque meter를 이용하여 측정하였고, XRD(X-ray diffractometer)와 TEM으로 결정 구조를 관찰하였다. |
| 저자 | 김진수, 정근희, 박인수, 서수정 |
| 소속 | 성균관대 |
| 키워드 | magnetic property; seed layer; perpendicular anisotropy |
