| 학회 | 한국화학공학회 |
| 학술대회 | 2001년 봄 (04/27 ~ 04/28, 연세대학교) |
| 권호 | 7권 1호, p.2170 |
| 발표분야 | 재료 |
| 제목 | DLI-MOCVD공정을 이용한 SBT 박막 증착 및 전구체 특성평가 |
| 초록 | SBT 박막 제조에 사용된 전구체를 다양한 분석방법에 의해서 특성 평가를 하였으며 DLI-MOCVD 공정을 이용해 SBT 박막을 제조하였다. |
| 저자 | 강상우, 양기정, 용기중, 이시우 |
| 소속 | 포항공과대 |
| 키워드 | SBT; DLI-MOCVD |
| 원문파일 | 초록 보기 |
