| 학회 | 한국공업화학회 |
| 학술대회 | 2016년 가을 (10/26 ~ 10/28, 제주국제컨벤션센터(ICCJEJU)) |
| 권호 | 20권 2호 |
| 발표분야 | 환경에너지_포스터 |
| 제목 | 니켈합금 열용사 코팅을 적용한 반도체 스크러버 챔버의 내구성 평가 |
| 초록 | 반도체 제조공정에서 사용하는 스크러버 내의 챔버는 내식성을 요하며 이에 대한 많은 연구들이 이루어지고 있다. 그러나 내식성이 뛰어난 소재로 부품 전체를 교체하기에는 가격적인 면에서 경쟁력이 떨어지기 때문에 모재에 코팅이나 클래딩을 이용하여 내구성을 향상시키기 위한 노력이 계속되고 있다. 따라서 본 연구에서는 부품의 내구성 및 수명을 향상시키기 위해 니켈합금을 코팅재로 적용한 코팅시편을 제작하여 고온과 HF가스의 극한 환경 하에서의 내구성을 평가하였다. |
| 저자 | 정희숙, 송형운 |
| 소속 | 고등기술(연) |
| 키워드 | 챔버(Chamber); 용사코팅(Coating); 니켈합금(Nickel alloy); 내구성(durability) |
