| 학회 | 한국화학공학회 |
| 학술대회 | 2001년 가을 (10/19 ~ 10/20, 한밭대학교) |
| 권호 | 7권 2호, p.4859 |
| 발표분야 | 이동현상 |
| 제목 | Ru-MOCVD 공정의 CFD해석 |
| 초록 | 본 연구에서는 Ru-MOCVD 공정에서 반응기내의 유동을 상업용 소프트웨어인 Fluent를 사용하여 CFD해석을 하고, 최적운전조건을 조사하였다. |
| 저자 | 최길호1, 윤도영2, 김재정 |
| 소속 | 1광운대, 2서울대 |
| 키워드 | Ru-MOCVD; Computational Fluid Dynamics |
| 원문파일 | 초록 보기 |
