| 초록 |
ITO(indium tin oxide)는 다양한 optoelectronics 소자 제작을 위한 투명전극 물질로서 과거 수십 년 동안 사용 되어왔다. 그러나 ITO는 flexible optoelectronics 소자에 적용하기에는 flexibility가 좋지 않으며, 고비용의 indium source, 높은 공정 온도 등의 문제를 가지고 있다. 이러한 문제를 극복하기 위해 thin metal flims, metal grids, carbon nanotube films, graphene films, metal nanowires와 같은 다양한 전극 물질들이 flexible optoelectronic 소자에 적용되기 위해 연구되고 있다. 최근 ITO를 대체할 수 있는 물질로서, Ag nanowires (NWs)를 이용한 투명 전극 특성 연구가 활발히 진행되고 있으며, flexible 소자에 적용될 대체 물질로서의 가능성이 연구 결과들을 통해 확인되고 있다. Ag NWs를 투명 전극에 적용하기 위해서는 박막의 낮은 저항을 가지는 것과 높은 투과도를 가지는 것이 중요한 요소이다. 본 연구에서는 spray 방식으로 Ag NWs를 기판에 도포 후 2 MHz rf power를 사용하여, joule heating 공정을 통해 Ag NWs를 welding 후 면 저항의 변화를 관찰 하였다. Joule heating 공정 처리의 시간에 따라 Ag NWs 박막의 투과도의 변화 없이, 면 저항의 감소를 확인할 수 있었다. Joule heating 공정에 의해 Ag NWs 사이의 전기적 접촉 증가로 인해 박막의 면 저항이 15 Ω/sq 에서 8 Ω/sq 로 감소함을 확인하였다. |
