화학공학소재연구정보센터
학회 한국재료학회
학술대회 2010년 가을 (11/11 ~ 11/12, 무주리조트)
권호 16권 2호
발표분야 C. Energy and the Environment Technology(에너지 및 환경재료)
제목 Formation of SiOC film from PPCS and its characterization of chemical properties  
초록    Carbosilane 계열의 고분자는 SiC의 전구체로 잘 알려져 있다. 특히 carbosilane 계열의 고분자는 300~350℃에서 용융이 가능할 뿐 아니라 상온에서는 유기용매에도 잘 녹아 성형과 코팅에 유리한 장점이 있어 최근들어 다양한 응용을 위해 관심이 높아지고 있는 소재이다. 일반적으로 carbosilane을 고온에서 열처리 하기 전에 경화시키는 과정이 필요하며 통상 공기중에서 열경화(thermal curing)시키는 방법이 이용된다. 공기중에서 열경화시키는 과정 중에 carbosilane 구조 안으로 공기중의 산소가 일부 들어가 carbosilane을 안정한 상태로 만들어 주게 되며,고온에서 열처리가 가능하게 된다. 
 Carbosilane 계열의 고분자 중에서도 가장 대표적으로 알려진 PCS(polycarbosilane)는 이미 SiC 또는 SiOC로의 전환과 관련된 연구가 다수 진행되어 왔으나, phenyl group을 다량 함유하고 있는 PPCS(polyphenylcarbosilane)의 경우에는 이와 관련한 연구가 미미한 실정이다. 따라서 본 연구에서는 phenyl group으로 인하여 carbon rich 한 상태의 PPCS가 열처리 조건에 따라 SiC 또는 SiOC로 전환되면서 발생하는 구조적, 화학적 특성을 확인하고자 하였다. 구체적인 실험 방법으로는 PPCS를 toluene에 용해시켜 20wt% solution을 제조한 후 Si wafer에 dip 코팅하였다. 코팅한 시편을 200℃에서 열경화 시킨 후 700, 900, 1100℃ Ar 분위기로 2시간 열처리 하였다. 제조된 시편의 코팅층 특성을 파악하기 위해 XPS, FT-IR, FE-SEM 분석을 이용하여 Si, O, C 각각의 원소 및 원소들 간의 bonding energy를 검토하였다.  
저자 김종일1, 김수룡2, 김영희1, 최두진1, 이윤주2
소속 1한국세라믹기술원, 2연세대
키워드 SiOC; Carbosilane; dipcoating
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