| 학회 | 한국화학공학회 |
| 학술대회 | 1999년 봄 (04/23 ~ 04/24, 성균관대학교) |
| 권호 | 5권 1호, p.1641 |
| 발표분야 | 재료 |
| 제목 | CVD을 이용한 실리콘카바이드(SiC) 반도체의 속도론적 연구 |
| 초록 | The surface modification was investigated to enhance the crystal qualit |
| 저자 | 남기석, 김광철 |
| 소속 | 전북대 |
| 키워드 | CVD; SiC; Kinetics; Void; SiNx |
| 원문파일 | 초록 보기 |
