화학공학소재연구정보센터
학회 한국화학공학회
학술대회 1995년 봄
권호 1권 1호, p.852
발표분야 재료
제목 SOI 소자 제조를 위한 ZMR 공정에 대한 모델링
초록
저자 왕종회, 김도현
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