화학공학소재연구정보센터
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No. Article
1 Highly-conformal p-type copper(I) oxide (Cu2O) thin films by atomic layer deposition using a fluorine-free amino-alkoxide precursor
Kim H, Lee MY, Kim SH, Bae SI, Ko KY, Kim H, Kwon KW, Hwang JH, Lee DJ
Applied Surface Science, 349, 673, 2015
2 Spirosoma radiotolerans sp nov., a Gamma-Radiation-Resistant Bacterium Isolated from Gamma Ray-Irradiated Soil
Lee JJ, Srinivasan S, Lim S, Joe M, Im S, Bae SI, Park KR, Han JH, Park SH, Joo BM, Park SJ, Kim MK
Current Microbiology, 69(3), 286, 2014
3 불산-오존-희석 암모니아수 세정에 의한 실리콘 웨이퍼 표면의 미세입자 제거
이건호, 배소익
Korean Chemical Engineering Research, 45(2), 203, 2007
4 오존과 초음파를 이용한 실리콘 웨이퍼의 Post Sliced Cleaning
최은석, 배소익
Korean Journal of Materials Research, 16(2), 75, 2006
5 세정액에 따른 실리콘 웨이퍼의 Cu 및 Fe 불순물 제거
김인정, 배소익
Korean Journal of Materials Research, 16(2), 80, 2006
6 질소 도핑된 P/P - Epitaxial Silicon Wafer의 Slip 및 강도 평가
최은석, 배소익
Korean Journal of Materials Research, 15(5), 313, 2005