| 학회 | 한국화학공학회 |
| 학술대회 | 1996년 가을 (10/18 ~ 10/19, 경북대학교) |
| 권호 | 2권 2호, p.2511 |
| 발표분야 | 재료 |
| 제목 | TDEAT를 이용한 TiN 유기금속 화학증착에서 수소와 질소 플라즈마 효과 |
| 초록 | 본 연구에서는 유기금속물 중 탄소 등 불순물 함유량과 비저항 면에서 더 우수한 성질을 나타냄이 밝혀진 TDEAT를 전구체로 사용하고 입자형성을 막고 금속환의 결합을 파괴하기 위해 질소와 수소 플라즈마를 반응기체로 도입하여 이들 플라즈마 기체에 따른 막의 특성을 각각 비교하고 반응 메카니즘의 차이를 규명하였다. |
| 저자 | 윤주영, 이시우 |
| 소속 | 포항공과대 |
| 키워드 | TiN; MOCVD; TDEAT; Diffusion Barrier |
| 원문파일 | 초록 보기 |
